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特气管路加热主要用于半导体制造中的气体输送系统，通过加热管道或容器保持气体稳定流动，避免凝聚或反应活性变化。以下是主要原理和应用：
通过电流通过电阻丝产生焦耳热，直接对管道或容器加热。常用于硅烷等特气的输送，防止低温下气体凝聚或活性变化。
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